这个问题最终被中科院微电子所的研究人员突破，远光体他们利用球差校正的扫描透射电子显微镜（STEM），远光体分别通过高角环形暗场（HAADF）及环形明场(ABF)成像技术，实现锆（Zr）掺杂的HfO2（Hf0.5Zr0.5O2，HZO）薄膜铁电相的Hf/Zr及O原子阵列成像，见图1（d-e）,确定了Pca21相是其中一种铁电相。
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